Sensörlerin ana sınıflandırması:
amaca göre
Basınca duyarlı ve kuvvete duyarlı sensörler, konum sensörleri, seviye sensörleri, enerji sensörleri, hız sensörleri, ivmeölçerler, radyasyon sensörleri, termal sensörler.
prensip olarak
Titreşim sensörü, nem sensörü, manyetik sensör, gaz sensörü, vakum sensörü, biyosensör vb.
Çıkış sinyaline basın
Analog sensör: Ölçülen elektriksel olmayan miktarı analog elektrik sinyaline dönüştürür.
Dijital Sensör: Ölçülen elektriksel olmayan nicelikleri dijital çıkış sinyallerine dönüştürür (hem doğrudan hem de dolaylı).
Dijital sensör: Ölçülen semaforu bir frekans sinyalinin veya kısa döngü sinyalinin (doğrudan veya dolaylı dönüştürme dahil) çıkışına dönüştürür.
Anahtar Sensörü: Ölçülen bir sinyal belirli bir eşiğe ulaştığında, sensör buna göre ayarlanmış bir düşük veya yüksek sinyal çıkışı verir.
Üretim süreci ile
Entegre sensörler, silikon bazlı yarı iletken entegre devrelerin üretimi için standart proses teknolojisi kullanılarak üretilir.
Test edilen sinyali başlangıçta işlemek için kullanılan devrenin bir kısmı da tipik olarak aynı çipe entegre edilmiştir.
İnce film sensörü, dielektrik bir alt tabaka (alt tabaka) üzerinde biriken ilgili bir hassas malzemeden oluşan bir film tarafından oluşturulur. Bir karıştırma işlemi kullanıldığında, devrenin bir kısmı da bu alt tabaka üzerinde üretilebilir.
Kalın film sensörü, genellikle Al2O3'ten yapılan seramik bir alt tabaka üzerine karşılık gelen bir malzemenin bulamacının kaplanması ve ardından kalın bir film oluşturmak için ısıl işlem görmesi ile yapılır.
Seramik sensörler, standart seramik işlemleri veya bunların bazı varyasyonları (sol, jel, vb.) kullanılarak üretilir.
Uygun hazırlık işlemi tamamlandıktan sonra oluşturulan bileşen yüksek sıcaklıkta sinterlenir. Kalın film ve seramik sensörlerin iki işlemi arasında birçok ortak özellik vardır. Bazı açılardan kalın film prosesi, seramik prosesinin bir varyantı olarak değerlendirilebilir.
Her proses teknolojisinin kendi avantajları ve dezavantajları vardır. Seramik ve kalın film sensörleri nedeniyle daha makul
