Litografi, tasarlanmış bir desenin doğrudan veya bir ara ortam aracılığıyla, yüzeyin desen gerektirmeyen alanları hariç, düz bir yüzeye aktarılmasına yönelik bir tekniktir. Maske litografisinde tasarımlar bir alt tabaka üzerine basılır ve birlazerböylece biriken malzeme aşındırılarak sonraki işlemlere hazır hale gelir. Bu litografi yöntemi, yarı iletken levhaların seri üretiminde yaygın olarak kullanılmaktadır. Küçük özelliklerin keskin görüntülerini bir levha üzerine yansıtma yeteneği, kullanılan ışığın dalga boyuyla sınırlıdır. Günümüzün en gelişmiş litografi araçları derin ultraviyole ışık (DUV) kullanıyor ve gelecekte bu dalga boyları derin ultraviyole (193 nm), vakumlu ultraviyole (157 nm ve 122 nm) ve aşırı ultraviyole (47 nm ve 13 nm) yayılmaya devam edecek. ). Çeşitli işlevlere ve alt tabaka boyutlarına olan talebin arttığı IC, MEMS ve biyomedikal pazarlarına yönelik karmaşık ürünler ve sık yapılan tasarım değişiklikleri, üretim hacimlerini azaltırken bu son derece özelleştirilmiş çözümlerin üretim maliyetini artırdı. Geleneksel maske bazlı (maske) litografi çözümleri, çok sayıda maske kiti tasarlamak ve üretmek için gereken maliyet ve zamanın hızla artabileceği bu uygulamaların çoğu için uygun maliyetli veya pratik değildir. Bununla birlikte, maskesiz litografi uygulamaları son derece kısa UV dalga boylarına olan ihtiyaçtan etkilenmez ve bunun yerinelazermavi ve UV aralıklarındaki kaynaklar. Maskesiz litografide,lazerIşığa duyarlı malzemelerin yüzeyinde doğrudan mikro/nano yapılar oluşturur. Bu çok yönlü litografi yöntemi, maske sarf malzemelerine dayanmaz ve düzen değişiklikleri hızlı bir şekilde yapılabilir. Sonuç olarak, hızlı prototip oluşturma ve geliştirme, daha fazla tasarım esnekliğiyle daha kolay hale gelirken aynı zamanda geniş alan kapsama avantajını (300 mm yarı iletken plakalar, düz panel ekranlar veya PCBS gibi) korur. Hızlı üretimin gereklerini karşılamak,lazerlermaskesiz litografi için kullanılanlar, maske uygulamaları için kullanılanlarla benzer özelliklere sahiptir: Sürekli dalga ışık kaynağı, uzun süreli güce ve dalga boyu stabilitesine, dar çizgi genişliğine ve küçük maske değişimine sahiptir. Az bakım gerektiren veya üretim döngülerinin kesintiye uğradığı uzun ömürlü stabilite, her iki uygulama için de önemlidir. DPSS lazer, ultra kararlı dar çizgi genişliğine, dalga boyu kararlılığına ve güç kararlılığına sahiptir ve iki litografi yöntemine uygundur. Rakipsiz dalga boyu stabilitesine, dar çizgi genişliğine ve uzun kuru uzunlukların dalga boyu aralığında küçük bir ayak izine sahip, yüksek güçlü, tek frekanslı lazerler tasarlıyor ve üretiyoruz; bu da onları mevcut sistemlere entegrasyon için ideal kılıyor.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies.
Privacy Policy
